對XD系列真空(kong)泵的介紹

XD系列真(zhen)空泵 是(shì)指該泵可在常壓(ya)下啓動抽氣，并可(ke)将抽吸的氣體直(zhi)接排放🌐到大氣中(zhong)。泵腔内無油或其(qi)他工作介質，壓力(li)等于或接近油封(feng)真空泵的機械真(zhēn)空泵。

截(jie)至 2013年，真空行業使(shi)用的機械真空泵(beng)大多采用油、水或(huò)其他🛀🏻聚合⚽物等流(liú)體作爲泵的工作(zuò)介質，在泵内具有(yǒu)冷卻、密💔封、潤滑等(deng)多重🈚功能。随着科(kē)學技術的發展和(hé)真空應用領域的(de)擴大，原有的機械(xie)真空泵及其排氣(qì)系統有兩個迫切(qiē)需要解決的問題(ti)：一是泵的工作介(jiè)質倒流，污染被抽(chōu)容器，而這種回流(liú)在很多情況下會(hui)影響産品的質量(liang)和數量，增加設備(bèi)的❌維護成本🎯。其次(cì)，真空泵中🔴的介質(zhi)由于某些過程中(zhōng)的反應物而嚴重(zhong)變🌈質，使泵無法正(zhèng)常工作。

對于(yú)普通的無油真空(kōng)系統，雖然可以使(shi)用油封真空泵和(hé)冷📧阱或吸附阱等(děng)附件來防止回流(liú)，但不能完全☎️解決(jue)問題，使系統複雜(zá)。使用合适類型的(de) XD系列真(zhēn)空泵 可(kě)以達到預期的效(xiao)果。

XD系列(lie)真空泵 應用廣泛，主要表(biao)現在以下幾個方(fang)面：

1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶矽(xī)制備工藝；

2、半(bàn)導體蝕刻工藝。 XD系列真空(kong)泵 在這(zhè)些生産過程中經(jing)常使用或産生腐(fu)蝕性氣體和磨料(liào)顆粒；

3、對于除(chu)半導體工藝外的(de)一些會産生顆粒(li)的工藝，預計📐顆粒(li)不會混入 XD系列真空泵 的泵油中(zhōng)，預計顆粒會從泵(beng)中排出，某種類型(xíng)的幹式🐇機械真空(kōng)泵可以滿足要求(qiú)；

4、在化工、醫藥(yao)、食品行業的蒸餾(liu)、幹燥、脫氣、包裝等(děng)過💚程中，應防🌈止有(you)機溶劑造成污染(rǎn)，宜選用 XD系列真空泵 ；

5、 XD系列真空泵 用作一般(ban)無油清潔真空系(xì)統的前級泵，防止(zhi)油污。