對XD系列真空(kong)泵的介紹

XD系列真(zhen)空泵 是(shi)指該泵可在常壓(ya)下啓動抽氣，并可(ke)将抽吸的氣體直(zhí)🛀🏻接排放到大氣中(zhōng)。泵腔内無油或其(qí)他工作介🔞質，壓力(lì)等于或接近油封(feng)真空泵的機械真(zhen)空泵。

截(jié)至 2013年，真空行業使(shi)用的機械真空泵(bèng)大多采用油、水或(huo)其⭕他聚合🏃🏻物等流(liu)體作爲泵的工作(zuò)介質，在泵内具🐉有(yǒu)冷卻、密封、潤滑等(děng)🔅多重功能。随着科(kē)學技術的發展和(he)真空應用領域的(de)擴大，原有的機械(xie)真空泵及其排氣(qì)系統有兩個迫切(qiē)需要解決的問題(ti)：一是泵🍉的工作介(jie)質倒流，污染被💰抽(chou)容器，而這種回流(liú)在很多情況下會(hui)影響産品的質量(liàng)和數量，增加設備(bei)的💃🏻維護成本。其次(cì)，真空泵中的介質(zhi)由于某些過程中(zhong)☔的反應物而嚴重(zhong)變🈲質，使泵無法正(zhèng)常工作。

對于(yú)普通的無油真空(kong)系統，雖然可以使(shǐ)用油封真空泵和(he)冷阱或吸附阱等(deng)附件來防止回流(liú)，但不能🔅完全🌏解決(jue)✌️問題，使系📱統複🏒雜(zá)。使用合适類型的(de) XD系列真(zhēn)空泵 可(ke)以達到預期的效(xiao)果。

XD系列(lie)真空泵 應用廣泛，主要表(biao)現在以下幾個方(fāng)面：

1、低壓化學(xue)氣相沉積多晶矽(xi)制備工藝；

2、半(ban)導體蝕刻工藝。 XD系列真空(kōng)泵 在這(zhè)些生産過程中經(jing)常使用或産生腐(fu)蝕性氣體和🌈磨料(liào)顆粒；

3、對于除(chu)半導體工藝外的(de)一些會産生顆粒(li)的工藝，預計顆粒(li)不會混入 XD系列真空泵 的泵油中(zhong)，預計顆粒會從泵(beng)中排出，某種類型(xíng)的幹式機🌂械真空(kōng)泵可以滿足要求(qiú)；

4、在化工、醫藥(yào)、食品行業的蒸餾(liu)、幹燥、脫氣、包裝等(deng)過程中，應防止有(you)機溶劑造成污染(ran)，宜選用 XD系列真空泵 ；

5、 XD系列真空泵 用作一般(ban)無油清潔真空系(xi)統的前級泵，防止(zhǐ)油污。